EUV / DUV 微影 EUV / DUV Litho
DRAM 微縮所需的 EUV/DUV 微影。1c nm 世代 DRAM 導入多層 EUV。
ASML 100% 獨佔 EUV,High-NA(EXE:5200B, NA0.55)首裝 SK Hynix;DRAM 微縮唯一微影供應商,是 HBM 上游最深鎖喉點。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [EU] ASML (ASML) | EUV 100% | DRAM 微縮唯一微影 |
High Bandwidth Memory — 堆疊 DRAM 緊鄰 AI GPU/ASIC,是 AI 算力與 CoWoS 的共同瓶頸。三強寡占;2026 Q1 SK hynix 全球首批 HBM4 量產(Nvidia Rubin ~70% 配額)、Micron 2026 Q1 已 HVM 出貨 HBM4 36GB 12H、Samsung HBM3E 12H 2025/9 通過 Nvidia 認證+2026/2 HBM4 全球首發 MP。HBM4 邏輯基底晶片改由台積電 N3 生產(Samsung 仍自家 4nm)。需求 2026 +70%、三家售罄。
DRAM 微縮所需的 EUV/DUV 微影。1c nm 世代 DRAM 導入多層 EUV。
ASML 100% 獨佔 EUV,High-NA(EXE:5200B, NA0.55)首裝 SK Hynix;DRAM 微縮唯一微影供應商,是 HBM 上游最深鎖喉點。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [EU] ASML (ASML) | EUV 100% | DRAM 微縮唯一微影 |
DRAM 晶圓的蝕刻、沉積、CMP、塗佈顯影、製程控制設備。
AMAT+Lam+TEL 控蝕刻 ~75%,TEL 塗佈顯影近獨佔(88–90%);KLA 製程控制、Ebara CMP/電鍍。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [US] Applied Materials (AMAT) | 蝕刻 ~32% | 前段全製程核心 |
| [US] Lam Research (LRCX) | 蝕刻 ~28% | TSV 深蝕刻 |
| [JP] Tokyo Electron (8035.T) | 塗顯 88–90% | EUV 配套塗顯獨佔 |
| [US] KLA / Ebara (KLAC / 6361.T) | 製程控制/CMP | 良率/平坦化 |
DRAM 晶粒的 TSV 矽穿孔、晶圓減薄(~30µm)與切割,是 HBM 堆疊高度的物理瓶頸。
Disco 在減薄/切割近乎獨佔(所有 HBM 廠採用),是打通 775µm 封裝限高的關鍵;Lam 主導 TSV 深矽蝕刻。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] Disco (6146.T) | 減薄/切割近獨佔 | 突破限高瓶頸 |
| [US] Lam Research (LRCX) | TSV 蝕刻 | TSV 製程主力 |
| [KR] EO Technics (039030.KQ) | 雷射切割 | ★HBM4 20–30µm 超薄晶圓由刀片轉雷射 |
晶粒逐層熱壓鍵合(TC-NCF)所需的 TC bonder,是 HBM 堆疊核心設備。
HBM TC bonder 集中度下降(2026 Q1 起):Hanmi 歷史 71% 因 SK hynix 將 HBM4 訂單分流給 ASMPT(7 台 dual-head、~KRW 30B,2025/11 簽約),2026 Hanmi 在 SK 占比預估降至 20–30%;Hanmi 2026 Q1 營收 −65.5% YoY、營業利益 −87.9% YoY(bonder 銷售僅 40 億韓元、年減 96.6%);Q2 2026 TCB 全面反彈,分析師預估 Q2 營收 2,276 億韓元(季增 +347%)、OPM 48.5%;SEMES(三星 captive)、Micron HBM4 改採 BESI。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] Hanmi Semiconductor (042700.KS) | HBM TCB 71.2% | SK 海力士主供(歷史獨家已被稀釋) |
| [KR] SEMES (—) | HBM TCB 13.1% | 三星 captive、未上市 |
| [SG] ASMPT (0522.HK) | HBM TCB 5.6% | SK 海力士 HBM4 部分訂單 |
| [JP] Yamaha/Shinkawa (7272.T) | HBM TCB 5.6% | Shinkawa;三星已停用 |
| [EU] BESI / Hanwha 精機 (BESI.AS / 489790.KS) | Micron HBM4 / 訴訟中 | Micron HBM4 改 BESI;Hanwha 訴訟持續中;ASMPT 7 台 dual-head 已交付 SK hynix HBM4 量產線;目前 SK hynix HBM4 TCB ~50 台中 ASMPT 約佔半數;M15X 擴產 ~100 台採購持續推進;目前 SK hynix HBM4 TCB ~50 台中 ASMPT 約佔半數;M15X 擴產 ~100 台採購持續推進 |
銅對銅無凸塊(bumpless)混合鍵合,為 HBM4/未來世代關鍵,尚無量產主導者。
BESI(die-to-wafer,與 AMAT 合作)領導、EVG(W2W)老牌。⚠ HBM4 業界確認仍走 microbump(JEDEC);全面混合鍵合延至 HBM4E/2027+。BESI Q1 2026 hybrid bonder 訂單季增 +104.5% 創歷史新高、客戶數達 20 家;HBM4E 客戶評估進入 order 轉換、若順利 2027 HBM4E 可進入主流量產;hybrid bonder 市場預估 2028 達 $2B。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [EU] BESI (BESI.AS) | D2W 領導 | 用於 HBM4/4E 試產 |
| [AT] EV Group (—) | W2W 老牌 | 量產級 W2W |
| [US] Applied Materials (AMAT) | 整合製程 | 整合式 hybrid bonding |
HBM 晶圓級與成品測試(ATE)、探針卡與測試座;台廠封測代工。
Advantest+Teradyne 合佔 ATE ~95%(Advantest 記憶體測試龍頭);探針卡 FormFactor/Technoprobe 領先,台廠旺矽/中華精測/穎崴;韓系測試座 ISC/Leeno;台廠力成/京元電封測代工。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] Advantest (6857.T) | 記憶體 ATE 龍頭 | ATE 界 ASML |
| [US] Teradyne (TER) | ATE 雙雄(~95%) | HBM/邏輯測試 |
| [US] FormFactor / 旺矽 (FORM / 6223.TWO) | 探針卡領先/台廠 | 測試介面 |
| [KR] DI Corp / UniTest / Techwing (003160.KS / 086390.KQ / 089030.KQ) | 韓系後段測試 | DI Corp HBM4 wafer tester 準單點 |
| [KR] ISC / Leeno (095340.KQ / 058470.KQ) | 測試座領導 | 貼近 Samsung/SK Hynix |
| [TW] 力成 PTI / 京元電 KYEC (6239.TW / 2449.TW) | 封測代工 | 記憶體封測台廠 |
HBM 堆疊的 mass reflow(hMR)、descum、雷射退火與翹曲控制;SK Hynix HBM4 改 heated mass reflow。
PSK Holdings(reflow+descum,唯一供 SK/三星/Micron 三強的韓廠、準單點);DIT(雷射退火,HBM3E 起導入修補缺陷、避翹曲,優於 RTA)。HBM4 結構轉移使此環節重要性升高。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] PSK Holdings (031980.KQ) | 唯一供三強 | 準單點 |
| [KR] DIT (110990.KQ) | 雷射退火 | HBM3E 起導入、避翹曲 |
HBM 的核心 DRAM 晶粒製造(cell array + TSV),製程節點 1b/1c/1γ nm,部分世代導入 EUV。
由 SK Hynix、Samsung、Micron 三家 IDM 自製,前三家近 100%。製程節點與 EUV 採用、TSV 良率決定 HBM 容量與頻寬。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] SK Hynix (000660.KS) | 領先 | HBM3E 12-hi/HBM4 16-hi |
| [KR] Samsung (005930.KS) | 第二 | 垂直整合 |
| [US] Micron (MU) | 第三 | 美系唯一 |
HBM4 把最底層 base die 從記憶體製程升級為邏輯製程晶片,控制 I/O 與邏輯,是純記憶體供應鏈史上最大結構轉移。
SK Hynix(N12)與 Micron(HBM4 base die 自製 CMOS、HBM4E 起改用台積電)(NVIDIA/Google 客製走 N3),創意(GUC)提供 C-HBM4E 客製設計入口;Samsung 自製 4nm base die 避開對台積電依賴。把台積電從「CoWoS 整合者」延伸成「HBM 本體新鎖喉」。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [TW] TSMC 台積電 (2330.TW) | HBM4 base die 主導 | SK Hynix/Micron/NVIDIA |
| [TW] 創意 GUC (3443.TW) | 客製設計入口 | 台積電生態系 |
| [KR] Samsung Foundry (005930.KS) | 唯一自製 | 垂直整合避依賴 |
把 DRAM 晶粒與 base die 垂直堆疊鍵合:MR-MUF(一次回流模封底填,散熱佳)/ TC-NCF(逐層熱壓非導電膜)/ 混合鍵合(bumpless Cu-Cu,未來)。方法決定材料設備鏈。
SK Hynix = Advanced MR-MUF(綁 Namics 樹脂 + Resonac/住友 EMC);Micron/Samsung = TC-NCF(綁 Resonac NCF);Samsung HBM4 押注混合鍵合(早期良率約 10%,綁 BESI/AMAT/Hanwha 設備)。方法決定誰買哪家材料/設備。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] SK Hynix (MR-MUF) (000660.KS) | MR-MUF 路線 | 散熱佳、綁 Namics |
| [US] Micron / Samsung (TC-NCF) (MU / 005930.KS) | TC-NCF 路線 | 綁 Resonac NCF |
| [KR] Samsung (Hybrid, 規劃中) (005930.KS) | 混合鍵合驗證 | HBM4 仍 microbump、混合鍵合延至 HBM5+ |
完成堆疊封測的 HBM 成品(HBM3E 12-hi / HBM4 16-hi),按容量/頻寬分級,賣給 AI 加速器廠。
三強寡占且供不應求:SK Hynix(1Q26 約 50–62%,NVIDIA 主力)領先、Samsung(Vera Rubin ~30%(初期 mid-20%),垂直整合追趕)、Micron(VR200 HBM4 遭排除、供 LPDDR5X;HBM4 HVM 出貨中、另接非 VR200 設計)。需求 2025 +130%、2026 +70% 且售罄;Micron 2026 HBM4 全年產能已綁定長約(含首份五年合約);Micron HBM4 爬坡速度達 HBM3E 兩倍、16-hi(48GB)已送樣;Samsung 罷工 5/20 取消不影響生產。⚠ 市佔依季度/口徑差異大;Rubin 出貨時程存在 CoWoS 良率風險。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] SK Hynix (000660.KS) | 1Q26 ~50–62% | NVIDIA 主供、技術領導 |
| [KR] Samsung (005930.KS) | Vera Rubin ~30%(初期 mid-20%) | 唯一 foundry+memory+封裝整合 |
| [US] Micron (MU) | 5–20% | 美系唯一、押架構創新 |
HBM 最終客戶:AI GPU/ASIC,HBM 與 CoWoS 同步售罄;NVIDIA 對三家有優先分配權。
NVIDIA 主導 >60% HBM 消耗(Rubin 用 HBM4E)、佔台積電 CoWoS >70%;AMD(MI400 用 HBM4)、Broadcom(Google TPU/Meta ASIC,帶動 HBM +80%)、Google/AWS 自研 ASIC 跟進。HBM 裝在 CoWoS 中介層上,與先進封裝產能連動。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [US] NVIDIA (NVDA) | HBM >60% 消耗 | 需求節奏定義者 |
| [US] AMD (AMD) | 第二大買家 | HBM4 延遲壓出貨 |
| [US] Broadcom (AVGO) | ASIC HBM 整合 | ASIC 帶動 HBM +80% |
| [US] Google / AWS (GOOGL / AMZN) | 自研 ASIC | 雲端自研需求 |
製作 DRAM 晶粒所需的 300mm 矽晶圓。
五大廠控 300mm ~85%(信越+SUMCO ~54%);SK Siltron 與 SK Hynix 同集團,提供在地晶圓。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] 信越 Shin-Etsu (4063.T) | 全球第一 | 龍頭 |
| [JP] SUMCO (3436.T) | 全球第二 | 雙雄 |
| [KR] SK Siltron (—) | 韓系龍頭 | SK Hynix 同集團 |
| [TW] 環球晶 / Siltronic (6488.TWO / WAF.DE) | 第三/第四 | 前五 ~85% |
DRAM 製程的光阻、蝕刻液、清洗劑、CMP slurry、前驅物。
光阻日系四強約 76%(TOK/JSR/信越/Fujifilm);韓系在地化高成長:Soulbrain(HBM CMP slurry 對 Samsung+SK Hynix 雙獨家、etchant、前驅物)、Dongjin(光阻/slurry)。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] Soulbrain (036830.KQ) | HBM slurry 雙獨家 | 韓系特化龍頭 |
| [KR] Dongjin Semichem (005290.KQ) | 韓系光阻/slurry | SK Hynix 多元化 |
| [JP] TOK / JSR / Merck (4186.T / — / MRK.DE) | 光阻四強 ~76% | JSR 已 JIC 私有化下市 |
| [KR] DNF / Hansol / DS Techopia (092070.KQ / 014680.KS / —) | 韓系前驅物 | DNF 三星佔營收 >90%、HCDS 在地化核心 |
MR-MUF(Mass Reflow Molded Underfill)一次回流模封底填樹脂,是 SK Hynix 堆疊路線的關鍵材料。
Namics(DIC 集團)為 SK Hynix MR-MUF 樹脂主力供應、共同開發,壁壘極高;但非絕對獨家——Samsung 已公開洽購 Nagase(8012.T)MUF 料並與自研 SDI(006400.KS)並進。仍為 HBM 鏈最關鍵材料咽喉之一;Henkel 為 underfill/NCF 替代。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] Namics (DIC) (4631.T) | SK Hynix 獨家 | HBM 鏈最關鍵單點 |
| [JP] Nagase ChemteX / Samsung SDI (8012.T / 006400.KS) | MUF 第二源/自研 | ★打破 Namics「獨家」:SK Hynix 第二源、Samsung 在地化 |
| [EU] Henkel (HEN3.DE) | 替代供應 | 替代供應商 |
TC-NCF 路線(Samsung/Micron)逐層熱壓所需的非導電膜底填材料。
Resonac(昭和電工)為 NCF 全球龍頭(Goi 廠擴產 3.5–5×),積水、東麗供應;是 TC-NCF 路線核心材料。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] Resonac 昭和電工 (4004.T) | NCF 全球龍頭 | TC-NCF 核心 |
| [JP] Sekisui 積水 / Toray 東麗 (4204.T / 3402.T) | 供應生態 | 薄膜材料 |
HBM 模封與散熱所需的環氧封裝材(含 MR-MUF 模封料)。
日系三家(住友電木/Resonac/Panasonic)合佔 EMC ~40%;Resonac 高導熱 EMC 用於 Advanced MR-MUF(散熱~1.6×)。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [JP] 住友電木 Sumitomo Bakelite (4203.T) | 全球龍頭 | IC 封裝料領導 |
| [JP] Resonac (4004.T) | 三強之一 | 散熱 ~1.6× |
| [JP] Panasonic (6752.T) | 三強之一 | EMC 寡占 |
GPU/ASIC 端的 HBM 記憶體控制器與實體層(PHY)IP,決定主機端如何驅動 HBM。
Synopsys(HBM4 controller/PHY IP 領導、全球首顆 HBM4 IP 測試晶片)、Cadence(HBM4E PHY 12.8GT/s)、Rambus(HBM4E controller 16GT/s)主導,整合在 GPU/ASIC 端。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [US] Synopsys (SNPS) | HBM4 IP 領導 | 首顆 HBM4 IP 測試晶片 |
| [US] Cadence (CDNS) | HBM4E PHY | IP 業務 +22% |
| [US] Rambus (RMBS) | controller IP | C-HBM4E 支援 |
| [US] Marvell / Alphawave(→QCOM) / Eliyan (MRVL / (QCOM) / —) | custom HBM 陣營 | HBM4E custom HBM 主軸;Alphawave 2025/12 已併入 Qualcomm |
HBM 晶粒間互連的微焊球(MSB)、Cu pillar 與 flux 助焊材;HBM4 焊球縮至 ~10µm 使專屬性升高。
Duksan Hi-Metal 微焊球全球 ~70% 近乎單點;MK Electron(全球焊球 #3、HBM 低溫燒結焊球)、千住金屬(flux 助焊)。HBM4 ~10µm 化提升門檻(原檔曾誤判此類專屬性低)。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|---|---|
| [KR] Duksan Hi-Metal (077360.KQ) | 微焊球 ~70% | 近乎單點 |
| [KR] MK Electron (033160.KQ) | 焊球 #3 | <150°C、多層熱預算關鍵 |
| [JP] 千住金屬 Senju (—) | flux 老牌 | 日系 flux |