先進製程(2nm GAA)供應鏈
Leading-edge Logic Process — 2nm/3nm GAA 邏輯製造,是半導體鎖喉點最密集的供應鏈。台積電 ≤3nm >90% 近乎獨佔;上游層層巢狀獨佔:ASML EUV→Zeiss 光學→Cymer 光源、Lasertec EUV 光罩檢測、AGC/Hoya 光罩基板、家登 EUV 光罩盒、日本 EUV 光阻、Arm CPU IP、Synopsys/Cadence EDA。所有設備/材料/設計工具最終匯流進入晶圓代工。
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EUV / High-NA / DUV 微影 EUV · High-NA · DUV Litho
2nm 以下圖形化的唯一手段(EUV/High-NA),與多重曝光的浸潤式 DUV。
ASML 100% 獨佔 EUV,且光學(Carl Zeiss SMT 唯一供應)、光源等離子模組(Cymer,2013 被 ASML 收購)、CO₂ 驅動雷射(TRUMPF 全球唯一)層層 sole-source——四層巢狀獨佔,是整條供應鏈最深、最不可替代的鎖喉;DUV 則 ASML/Nikon/Canon 寡占。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [EU] ASML (ASML) | EUV 100% | 2nm 以下無可替代;Q1'26 營收 €8.8B(含 2 台 High-NA 認列)、2026 財測 €36–40B、Q2'26 財測 €8.4–9.0B;TSMC 因成本暫緩 High-NA,ASML 預期首批 High-NA 產品由記憶體/邏輯客戶數月內領跑 |
| [EU] Carl Zeiss SMT (—) | 光學 sole-source | 最隱形單點,無 Zeiss 無 EUV;帳面非上市無『市佔數字』,卻握 EUV 否決權——真正定價權不在 ASML 而在這層 |
| [EU] TRUMPF (—) | CO₂ 驅動雷射唯一 | 比 Cymer 更上游的 sole-source(第四層) |
| [US] Cymer (ASML) (—) | 光源 captive | 全球唯一量產級 13.5nm 錫滴電漿(LPP)光源,2013 被 ASML 併為 captive 內製,供 ASML EUV 機台唯一光源、第三層 sole-source |
| [JP] Nikon / Canon (7731.T / 7751.T) | DUV 寡占(ASML 主導) | 浸潤式 DUV 唯二替代源(ASML >60%),供成熟/中段層曝光;Canon 押注奈米壓印 NIL 另闢低成本路徑,惟 EUV 世代仍難撼 ASML |
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蝕刻 Etch Etch
GAA 奈米片成形所需的高選擇性蝕刻與原子層蝕刻(ALE),釋放通道、價值量大增。
AMAT+Lam+TEL 控蝕刻 ~75%;Lam ALE 約 60.9%(GAA win 42%)、AMAT Sculpta ALE(ASP 3x),GAA 直接受惠。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] Applied Materials (AMAT) | 蝕刻 ~32% | 介電蝕刻龍頭,Sculpta 圖形塑形 ALE(ASP 約 3 倍)供 TSMC/Samsung 於 GAA 奈米片釋放通道,減少多重曝光步數 |
| [US] Lam Research (LRCX) | 蝕刻 ~28%、ALE ~61% | 原子層蝕刻(ALE ~61%)絕對領導,GAA 奈米片通道釋放贏率 ~42%,供三大晶圓廠高深寬比導體蝕刻、單點難替代 |
| [JP] Tokyo Electron (8035.T) | 蝕刻 ~15% | 蝕刻第三大並包辦塗佈顯影(coater/developer 近全球獨佔),與 ASML 曝光機綁定的 track 是 EUV 產線必經、雙料綁定 TSMC |
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沉積 CVD/PVD/ALD/Epi Deposition
GAA 須更高強度的 ALD(原子層沉積)與 Epi 磊晶;薄膜沉積是 GAA 閘極堆疊核心。
ASM International 單片 ALD >55%、2nm GAA 節點 >55%,是 GAA 最直接受惠者;但 AMAT 已在多個次世代 GAA 邏輯 ALD 步驟取得 PoR(製程認證),實際 GAA 受惠不如市場想像由 ASM 獨吃;批次 ALD 由 Kokusai(~70%)主導;Lam(W ALD/電鍍)競逐。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [EU] ASM International (ASM.AS) | 單片 ALD >55% | 單片原子層沉積(ALD) >55% 全球第一,GAA 閘極高 k/金屬堆疊逐層沉積主力,供 TSMC/Samsung/Intel,2nm 節點含量倍增為最直接受惠者 |
| [US] Applied Materials (AMAT) | 沉積龍頭 | GAA 閘極堆疊;已在多個次世代 GAA 邏輯 ALD 步驟取得 PoR,蠶食 ASM GAA 受惠敘事 |
| [US] Lam Research (LRCX) | 介電/金屬 | 鎢字線與銅內連線填充沉積領導,ALTUS 鎢 ALD/SABRE 電鍍為先進節點金屬化必經,供 TSMC/Samsung/美光高深寬比填孔 |
| [JP] Kokusai Electric (6525.T) | 批次 ALD ~70% | 批次(爐管)ALD ~70% 全球主導,以高產能低成本沉積 GAA 氧化/氮化薄膜,供 TSMC/Samsung/記憶體廠、與單片 ALD 互補 |
| [KR] Wonik IPS / Jusung / Eugene / TES (240810.KQ / 036930.KQ / 084370.KQ / 095610.KQ) | 韓系 ALD/CVD 在地 | 韓系沉積設備群,供 Samsung/SK hynix captive ALD/CVD/LPCVD,是三星降美系(AMAT/Lam)/日系(Kokusai)設備依賴的在地化來源、韓廠設備國產替代主力 |
| [US] Veeco (VECO) | Epi/MOCVD/退火 | 磊晶(Epi)與雷射退火(LSA)利基領導,GAA 通道磊晶與摻雜活化受惠;與 Axcelis 合併案(2026 H2)整合植入+退火,強化 GAA 摻雜整體方案 |
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CMP + 離子植入 CMP + Ion Implant
化學機械研磨(CMP)平坦化與離子植入摻雜。
CMP 由 AMAT(第一)與 Ebara(第二)雙雄;離子植入 AMAT(Varian ~62.65%)近主導、Axcelis(~21.19%)第二、住友重機第三。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] Applied Materials (AMAT) | CMP 第一/植入 ~63% | CMP 平坦化第一並以 Varian 掌離子植入 ~63% 近主導,GAA 精準摻雜與多層堆疊平坦化雙料鎖喉,供 TSMC/Samsung/Intel |
| [JP] Ebara 荏原 (6361.T) | CMP 第二 | CMP 全球第二兼銅電鍍設備領導,銅內連線平坦化與電鍍雙供,是 AMAT 外唯一大量產 CMP 替代源、供 TSMC/Samsung |
| [US] Axcelis (ACLS) | 植入 ~21% | GAA 精準摻雜第二源;與 Veeco 合併案 2026/02 股東批准、待中國 SAMR 核准、預計 2026 H2 完成 |
| [JP] 住友重機 SHI (6302.T) | 植入第三 | 中電流離子植入全球第三供應源,供日系/台系晶圓廠摻雜,是 AMAT/Axcelis 雙雄外分散單一供應風險的第三選擇 |
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量測 / 檢測 Metrology · Inspection
缺陷檢測、CD/薄膜/overlay 量測與 EUV 光罩檢測,是良率管理與 ≤7nm 量產前提。
KLA 製程控制 ~56%、量檢測合計 ~73.8% 絕對龍頭;Lasertec 為 EUV actinic 光罩檢測唯一商用(~90%+),無合格光罩檢測即不能量產 ≤7nm;Onto、AMAT、日立 High-Tech 利基。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] KLA (KLAC) | 製程控制 ~56% | 製程控制 ~56%(光學晶圓檢測 >85%、光罩檢測 >80%)絕對龍頭,缺陷檢測與良率學習曲線的把關者,供全球所有先進晶圓廠、AMAT 僅約 10% 難撼 |
| [JP] Lasertec (6920.T) | EUV 光罩檢測 ~90%+ | 唯一商用 actinic(鎖喉) |
| [EU] ASML (HMI) (ASML) | e-beam 檢測領導 | 多電子束 e-beam 缺陷檢測領導(原台廠漢微科 Hermes Microvision),補 KLA 光學檢測所不及的埋層/高深寬比缺陷、供先進節點良率偵錯 |
| [US] Onto / AMAT / 日立 High-Tech (ONTO / AMAT / 6501.T) | 量檢測利基 | KLA 外量檢測利基群,Onto 光學 CD/薄膜量測、日立 High-Tech 為 CD-SEM 關鍵維度量測要角,供先進晶圓廠分散 KLA 單一依賴、各據量測子項 |
| [GLOBAL] Nova / Park Systems / Bruker (NVMI / 140860.KQ / BRKR) | OCD/AFM | 尺寸量測利基三強,Nova(IL)光學臨界尺寸 OCD 整合量測領導、Park Systems(KR)產線原子力顯微鏡 AFM 全球第一、Bruker(US)AFM/X 光計量,供 GAA 3D 結構奈米級量測、補 KLA 缺陷檢測外的維度計量 |
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清洗 / 退火 / 熱製程 Clean · Anneal · Thermal
單片濕式清洗、乾式去光阻(strip)、毫秒/雷射退火(GAA 摻雜活化)與爐管熱處理。
單片清洗 SCREEN+TEL+Lam >82%;乾式去光阻 PSK 全球領導;毫秒/雷射退火 Veeco/AMAT;韓系 SEMES(三星 captive)、Wonik/Jusung/Eugene 沉積清洗在地化;台廠弘塑、辛耘為台積電濕製程在地供應。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [JP] SCREEN (7735.T) | 單片清洗 ~45% | 單片濕式清洗全球龍頭(~45%),GAA 高深寬比結構顆粒/殘留清除的良率關鍵,供 TSMC/Samsung/Intel,SCREEN+TEL+Lam 合計 >82% |
| [KR] PSK Inc. (319660.KQ) | dry strip 全球領導 | ★319660≠母公司 PSK Holdings 031980(reflow/descum) |
| [US] Veeco / Mattson (VECO / —) | 退火 | GAA 摻雜活化(Mattson 中資) |
| [KR] SEMES (—) | 韓系最大在地 | 三星集團子公司、韓國最大半導體設備商,供 Samsung 清洗/塗顯/去光阻 captive 設備,是三星去日美設備依賴的在地化核心 |
| [TW] 弘塑 / 辛耘 (3131.TWO / 3583.TW) | 台積電在地 | 台積電濕製程在地供應,弘塑供批式/單片濕清洗設備、辛耘供再生晶圓與濕製程,先進封裝 SoIC 濕清洗受惠、貼近 TSMC 就近服務 |
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測試 ATE / 探針卡 ATE · Probe Card
晶圓/成品測試(ATE)與晶圓測試探針卡。
ATE Advantest+Teradyne ~45–48%;探針卡 Technoprobe/FormFactor 領先,台廠旺矽(非記憶體全球第三)、中華精測(先進 MEMS 全自製)、穎崴。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [JP] Advantest / Teradyne (6857.T / TER) | ATE ~45–48% | 自動測試設備(ATE)雙雄合計 ~45–48%,Advantest 近乎獨佔 AI SoC/HBM 高頻測試(供 Nvidia/HBM 供應鏈)、Teradyne 綜合領先,AI 算力測試工時暴增為主受惠者 |
| [US] FormFactor / Technoprobe (FORM / TPRO.MI) | 探針卡領先 | 先進 MEMS/垂直探針卡雙雄,2nm 晶圓測試探針密度與訊號完整性關鍵介面,供 TSMC/Samsung/主要 fabless、與 Technoprobe/JEM 合計 ~60% |
| [TW] 旺矽 MPI / 中華精測 (6223.TWO / 6510.TW) | 全球第三/全自製 | 台廠探針卡雙雄,旺矽非記憶體垂直探針卡全球第三、中華精測先進 MEMS 探針卡全自製,供台積/日月光測試段、瞄準 2nm 與 AI 高頻卡國產替代 |
| [JP] JEM / 穎崴 / 雍智 (6855.T / 6515.TW / 6683.TWO) | 探針卡前三/socket/CP載板 | 測試介面利基群,JEM 記憶體探針卡全球領先(與 FormFactor/Technoprobe 合計 ~60%)、穎崴供 AI/HPC 高頻 test socket、雍智供 CP 測試載板,供先進封裝/HBM 測試段 |
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光罩寫入機 Mask Writer Mask Writer
以多束電子束(multi-beam e-beam)在光罩基板寫出電路圖形,是 EUV 光罩唯一成圖手段。
IMS Nanofabrication(Intel 持股)單獨 ~81.5%(2024) 近乎獨佔,NuFlare(東芝集團、已 TOB 下市)overlay 領先、JEOL 補位(multi-beam Top5 ~86%);無光罩寫入機即無 EUV 光罩。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [AT] IMS Nanofabrication (—) | ~81.5% (2024) | Intel 持股、近乎獨佔 |
| [JP] NuFlare (—) | 雙雄之二 | 東芝集團、已 TOB 下市 |
| [JP] JEOL (6951.T) | Top5 | 電子束光罩寫入 Top5 並為 CD-SEM 量測要角,補 IMS/NuFlare 之外的寫入機供應,分散光罩成圖單一供應風險 |
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設備子系統 / 零組件 Equipment Subsystems
RF 電源、真空、氣體輸送、靜電吸盤(ESC)、真空泵等設備子系統,是 AMAT/Lam/ASML 共同上游。
MKS(RF 電源全球第一)、Advanced Energy(與 MKS 合計 RF >35%)、Comet(真空電容/RF 匹配)、UCT/Ichor(氣體輸送代工)、Ferrotec(ESC/陶瓷)、ULVAC(真空泵);台廠京鼎/翔名為在地 OEM。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] MKS Instruments (MKSI) | RF 電源第一 | 半導體 RF 電源全球第一,並跨 MFC 流量控制/真空/雷射,是 AMAT/Lam/TEL 蝕刻沉積機台的共同關鍵零組件供應,MKS+AEIS 合計 RF >35% |
| [US] Advanced Energy (AEIS) | RF >35%(與MKS) | 電漿製程電源第二大(與 MKS 合計 >35%),供蝕刻/沉積機台穩定電漿的高頻電源,是 MKS 之外分散設備商單一供應的主要第二源 |
| [CH] Comet (COTN.SW) | 真空電容/RF 匹配領導 | 真空電容與 RF 阻抗匹配網路全球領導,是維持電漿穩定的隱形單點零件,供 MKS/AEIS 電源與設備商、先進節點蝕刻精度所繫 |
| [US] UCT / Ichor / Ferrotec / ULVAC (UCTT / ICHR / 6890.T / 6728.T) | 子系統代工 | 設備次系統外包代工群,UCT/Ichor 供氣體輸送模組、Ferrotec 供靜電吸盤(ESC)陶瓷、ULVAC 供真空泵,隨 AMAT/Lam 出貨量連動 |
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EDA 工具 EDA Tools
電子設計自動化工具,2nm signoff 與光罩驗證必備。
三強 >70%:Synopsys(~31%,含 Ansys)、Cadence(~30%)、Siemens EDA(~13%,Calibre 物理驗證業界標準)。是先進設計的入口門檻。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] Synopsys (SNPS) | EDA ~31% | EDA 全球第一(~31%,含併入 Ansys 多物理),2nm 邏輯合成/佈局/簽核全流程必備,供所有先進 fabless/IDM 與 TSMC 認證流程、切換成本極高 |
| [US] Cadence (CDNS) | EDA ~30% | EDA 雙雄之二(~30%),類比/客製與 Palladium 硬體模擬領先,供先進 SoC 設計驗證,與 Synopsys 形成 2nm 設計的雙寡占入口門檻 |
| [EU] Siemens EDA (SIE.DE) | EDA ~13% | 第三大 EDA,Calibre 物理驗證(DRC/LVS)為業界事實標準、光罩簽核近乎必經,Tessent 可測試性設計領先,供全產業下線前驗證 |
| [US] Ansys / Keysight EDA ((SNPS) / KEYS) | 模擬/RF | Ansys 2025/07/17 正式被 SNPS 以 $350 億併入;2026 H1 推出首批 Synopsys-Ansys Multiphysics-Fusion 整合 EDA 工具 |
| [CN] 華大九天 Empyrean (301269.SZ) | 中國 EDA 龍頭 | 中國 EDA 主力 |
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矽智財 IP / 設計服務 Silicon IP · Design Service
CPU/介面/基礎 IP 與 ASIC 設計服務,是先進製程 SoC 的設計基石。
Arm CPU 架構近獨佔(行動 >95%);介面 IP Synopsys/Cadence 主導;RISC-V(SiFive、台廠晶心 Andes)興起挑戰。台廠設計服務軍團:力旺(OTP/安全 IP 全球領導、過 N3P)、創意/世芯/智原(2nm ASIC turnkey)。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [UK] Arm (ARM) | CPU IP 行動 >90% | SoC CPU 事實標準;FY26 營收 $4.92B 創高(royalty $2.61B)、hyperscaler CPU 算力佔比達 50% |
| [US] Synopsys / Cadence (SNPS / CDNS) | 介面 IP 主導 | 商用介面 IP 雙雄主導,PCIe/DDR/HBM/SerDes 高速介面矽智財供 fabless 直接嵌入 SoC,省去自研與驗證成本、2nm/先進封裝相容性關鍵 |
| [TW] 晶心 Andes / 力旺 eMemory / M31 (6533.TWO / 3529.TW / 6643.TWO) | RISC-V/OTP/基礎 IP | 力旺過 TSMC N3P;M31 台積 IP 夥伴 |
| [TW] 創意 GUC / 世芯 Alchip / 智原 (3443.TW / 3661.TW / 3035.TW) | ASIC 設計服務 | 台廠 ASIC 設計服務三雄,將雲端業者自研 AI 晶片以 2nm turnkey 從設計到量產一條龍(創意為 TSMC 轉投資關係最深),供 hyperscaler 客製矽、雲端自研浪潮最直接受惠 |
| [US] Alphawave(→Qualcomm) / Rambus ((QCOM) / RMBS) | 介面 IP 第三源 | ★Alphawave 2025/12 已併入 Qualcomm、AWE.L 下市 |
| [TW] M31 / Ceva / Imagination (6643.TWO / CEVA / —) | 基礎/利基 IP | 基礎/利基矽智財群,M31 為 TSMC IP 認證夥伴供基礎 IP(foundation IP)、Ceva 供 DSP/連網 IP、Imagination 供 GPU IP,供中小 fabless 快速取得先進節點驗證過 IP |
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先進邏輯晶圓代工(2nm GAA) Leading-edge Foundry
2nm/3nm GAA 邏輯製造的核心——所有設備、材料、EDA/IP 在此匯流,是整條供應鏈的收斂點與終極鎖喉。
台積電代工 ~70%、≤3nm >90% 近乎獨佔(N2 2nm GAA 2025Q4 量產、A16 背面供電);N2 自 2026/03 貢獻營收、產能售罄至 2028(lead time 52–156 週),2nm 連四年漲價 2026 約調漲 10–20% 至 ~$2.2–2.4 萬/片(終結『便宜電晶體』);先進製程+CoWoS 同時售罄至 2027、需求高於產能 ~25–30%,AI 算力出貨受制於 TSMC 單點。Samsung(SF2 良率 ~50%、以 ~$2 萬/片低價搶下 Tesla AI5/AI6約 $165 億)、Intel(18A Panther Lake 量產、已簽 Microsoft/AWS 但良率 2027 才達世界級)、Rapidus(日本國家隊、首客 Fujitsu、2027 HVM)追趕。GAA 良率與生態系是進入障礙,挑戰者落後 1–2 代。絃外之音:TSMC 雖是漏斗收斂點,但定價權其實受上游 sole-source(ASML/Lasertec/IMS)反向鉗制——上游漲價 TSMC 只能轉嫁;TSMC 真正的護城河是『生態系綁定』(EDA/IP/設備同步調校),而非單純份額,這是 Samsung/Intel 砸錢也追不上的部分。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [TW] TSMC 台積電 (2330.TW) | 代工 ~70%、≤3nm >90% | 絕對龍頭、節奏掌控;2nm 唯一可大量交貨者,N2 自 2025Q4 量產、2026/03 起貢獻營收,高雄 Fab 22+寶山兩廠 2026 產能爬升至 ~9–10 萬片/月且全年完售、最新訂單 lead time 52–156 週排到 2028;先進製程+CoWoS 同時售罄至 2027、需求高於產能約 25–30%,魏哲家 2026/06/04 股東會稱 AI 需求『瘋狂』、供給落後將持續『數年』,TSMC 產出實質成為 Nvidia Blackwell/Rubin 出貨硬上限 |
| [KR] Samsung Foundry (005930.KS) | 第二 | 與 Tesla 簽約 ~$165 億 AI5/AI6 代工(Taylor 廠生產至 2033),首度於價格與大客戶層面實質挑戰 TSMC;以 ~$20K/片(遠低於 TSMC ~$30K)搶單;2026/06 更新:2nm 良率 Q1'26 已升破 60%(逼近 70% 量產經濟門檻,較 2025/09 量產時 ~50%、2026/04 ~55% 明顯改善)、2nm 訂單內部預估 YoY +130%、HBM4 base die 已售罄,帶動 foundry 季度獲利有望提前至 2026 Q3 轉正(原估 Q4'26~2027);惟 foundry 年度獲利目標仍延至 2028。Qualcomm 已確認 Snapdragon 8 Elite Gen 6 N2P 獨家交 TSMC、Samsung 轉單延至 Gen 7;Taylor 廠 SF2P+ 確認 2027 投產 |
| [US] Intel Foundry (INTC) | 挑戰者 | Panther Lake(首款 18A 消費級處理器)2026 年初發表、向亞利桑那高量產爬升;外部代工已簽 Microsoft、AWS;惟 Intel 自承良率要到 2027 才達世界級、CFO 重新評估是否對外開放 18A,短期難撼動 TSMC demanding 客戶端;14A PDK 0.5 已開放、設備採購 YoY +50%+;首台 High-NA EXE:5200 已驗收進入 HVM。2026/06 Computex 更新:CEO 陳立武稱 14A 在同期成熟度/良率/效能均優於 18A,且 Tesla 確認採 14A 投產 Terafab AI 晶片(14A 首位大客戶、2027 量產就緒)、Intel 預估 2026 foundry 營業虧損可隨 18A 放量縮小 |
| [JP] Rapidus (—) | 後進試產 | IIM-1 潔淨室啟動、EUV 裝機完成、2nm GAA 試產中;2nm PDK 開放早期客戶;2026/04 北海道千歲後段封裝原型線啟動、日本政府追加 ¥6,315 億支援;首位客戶確認為 Fujitsu;2026 底目標出客戶測試晶片,HVM 仍維持 2027 |
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終端需求(fabless) Fabless Demand
先進製程的最終客戶:fabless 與 IDM 設計公司,AI 與旗艦手機驅動需求。
Apple 升格為 N2 第一大錨定客戶、鎖定逾 50% 初期 N2 產能供 A20/A20 Pro 與 M5 系列(2026 秋季),其餘配額由 Nvidia/AMD/Qualcomm 瓜分——2nm 早期被『單一手機客戶+少數 AI HPC』高度集中綁定;AMD(EPYC Venice 已 tape-out)、Broadcom(雲端 ASIC)、Qualcomm(Snapdragon 8 Elite Gen 6 確認 N2P 獨家 TSMC)/聯發科(N2P)跟進;Nvidia Rubin 暫守 3nm(良率/成本)、A16(1.6nm) SPR 2026 底量產 Feynman 領跑。需求集中於少數大客戶,2027 後手機週期若轉弱將放大稼動率波動。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [US] Apple (AAPL) | N2 過半初期產能 | 2nm 首發與最大買家、鎖定逾 50% 初期 N2 產能 |
| [US] AMD / Broadcom (AMD / AVGO) | N2 早期大客戶 | N2 早期 HPC/ASIC 主力買家,AMD EPYC Venice 伺服器 CPU 已 tape-out、Broadcom 為雲端業者客製 AI ASIC 最大代設計商,共同鎖定 Apple 之後的 2nm 產能配額 |
| [TW] 聯發科 MediaTek (2454.TW) | 首家 2nm tape-out | 台廠 2nm 旗艦 SoC;改採 N2P(較 N3E 同功耗效能 +18%)、2026 底量產上市 |
| [US] Qualcomm / Nvidia (QCOM / NVDA) | N2P/A16 首家客戶 | Nvidia 為 TSMC A16 首家暨唯一客戶(高雄 P3 2027 量產);2nm 產能滿載迫使 Feynman 評估重新設計 |
資料來源
矽晶圓 Silicon Wafer
先進邏輯製程的 300mm 拋光/磊晶矽晶圓。
前五大 >80%(信越+SUMCO ~54%):信越(>27%)、SUMCO、環球晶、Siltronic、SK Siltron。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [JP] 信越半導體 Shin-Etsu (4063.T) | 300mm >27% | 300mm 矽晶圓全球龍頭(>27%),2nm/3nm 要求的超平整拋光/磊晶晶圓最大供應,供 TSMC/Samsung/Intel,晶圓品質直接決定先進節點良率上限 |
| [JP] SUMCO (3436.T) | 300mm ~17% | 300mm 矽晶圓全球第二,與信越合計 ~54% 近雙頭寡占,2025 增資擴 2nm/3nm 級超平整產能供 TSMC/Samsung、長約鎖定供貨 |
| [TW] 環球晶 GlobalWafers (6488.TWO) | 300mm 第三 | 矽晶圓全球第三(台廠最大),德州 50 億美元新廠 2027 達年 120 萬片供美國客戶,SOI/磊晶利基,是日系雙雄外分散地緣供應風險的主要選擇 |
| [EU] Siltronic / SK Siltron (WAF.DE / —) | 第四/第五 | 300mm 前五之四五(Siltronic 德、SK Siltron 韓),SK Siltron 為 Samsung/SK 在地供應,五強合計 >80%、寡占結構供貨穩定 |
資料來源
光阻 Photoresist Photoresist
EUV/ArF 光阻——先進製程圖形化的關鍵材料,日本對 2nm 最強鎖喉之一。
EUV 光阻 Top5 ~50%、Top4 ~75%,日本壟斷:JSR(>22%,含 Inpria 金屬氧化物)、TOK、信越、Sumitomo Chem、Fujifilm;韓系 Dongjin 在地化供 Samsung;台廠崇越代理信越。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [JP] JSR (含 Inpria) (—) | EUV >22% | EUV 光阻全球第一(>22%),並經 Inpria 掌下世代金屬氧化物光阻(高解析低隨機缺陷),供 TSMC/Samsung/Intel EUV 曝光,已 JIC 私有化下市、日本供應鏈戰略資產 |
| [JP] TOK 東京應化 (4186.T) | EUV Top 3 | EUV/ArF 光阻三強之一,先進節點 EUV 圖形化材料主供,供 TSMC/Samsung/Intel,光阻認證週期 18–24 月造就日系高黏著寡占 |
| [JP] 信越 / Sumitomo Chem / Fujifilm (4063.T / 4005.T / 4901.T) | EUV Top 5 | 日系光阻四強其餘三家,EUV/ArF 光阻各據利基,四強合計 ~76%,供全球先進晶圓廠、日本壟斷 2nm 圖形化最強鎖喉之一 |
| [KR] Dongjin / 崇越(代理) (005290.KS / 5434.TW) | 韓系/台通路 | Dongjin 韓系光阻在地供 Samsung(降日系依賴)、崇越為信越光阻台灣獨家代理供 TSMC,各自把持在地/通路端供貨關卡 |
| [TW] 新應材 AEMC (4749.TWO) | 光阻周邊 | N2 獨家供 BARC/EBR、Rinse 佔台積 ~70% |
| [TW] 達興 / 國精化 / 三福化 (5234.TW / 4722.TW / 4755.TWO) | 台廠特化 | 台廠特用化學軍團,達興供 PSPI 感光聚醯亞胺、國精化供顯影液 TMAH、三福化供蝕刻剝離液,供 TSMC 前段濕製程、國產替代日系降斷鏈風險 |
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光罩 / EUV blank / pellicle Photomask · Blank · Pellicle
EUV/DUV 光罩、EUV 光罩基板(blank)、防塵薄膜(pellicle)與光罩傳載盒(pod)。
EUV mask blank AGC(~59%)+Hoya(~34%)約 93% 近雙頭獨佔;光罩製造 Toppan/DNP/Photronics 競爭;EUV pellicle Mitsui 化學近獨佔(ASML 2021 授權、唯一商用 >90% 穿透、CNT 次世代);EUV pod 家登 >80% 獨佔(High-NA pod 首發獲 ASML 認證);韓系 S&S Tech 本土化。絃外之音:本節點是『多個 sole-source 疊一層』——AGC/Hoya/家登/Mitsui 各自在子產品近獨佔,任一斷貨即無合格 EUV 光罩,集中度被『oligopoly』標籤低估。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [JP] AGC / Hoya (5201.T / 7741.T) | EUV blank ~93% | EUV 光罩基板(blank)近雙頭獨佔(AGC ~59%+Hoya ~34%≈93%),超低膨脹玻璃鍍 Mo/Si 多層膜為 EUV 光罩起點,斷貨即無合格光罩、供全球先進晶圓廠 |
| [TW] 家登 Gudeng (3680.TWO) | EUV pod >80% | 光罩運輸獨家鎖喉;EUV pod >80% 的台廠 sole-source,是『賣鏟子的賣鏟子』二階受惠者——不論誰贏 2nm 競賽,光罩都要裝家登的盒子 |
| [JP] Mitsui 三井化學 (4183.T) | EUV pellicle 領導 | EUV 防塵薄膜(pellicle)近獨佔(ASML 2021 授權、唯一商用 >90% 穿透率),保護 EUV 光罩免受微粒污染,CNT 次世代領跑、供全球 EUV 產線 |
| [JP] Toppan / DNP / Photronics (7911.T / 7912.T / PLAB) | 獨立光罩製造 | 獨立第三方光罩製造三強,將 blank 寫入成 EUV/DUV 電路光罩供 fabless/晶圓廠,Photronics 為美系最大、日系 Toppan/DNP 領先高階光罩 |
| [KR] S&S Tech / FST / LG Innotek (101490.KQ / 036810.KQ / 011070.KS) | 韓系在地化 | 韓系光罩材料在地化群,供 Samsung EUV blank/pellicle,2026 起稀釋 AGC/Hoya/Mitsui 日系獨佔、降三星單一供應風險 |
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特用氣體 / 前驅物 Specialty Gas · Precursors
ALD/CVD 高 k 前驅物與蝕刻/清洗特用氣體,GAA 高 k 介電的關鍵。
依氣種 KR/JP/EU 集中:Merck(含 Versum)、Linde、Air Liquide 領導前驅物/氣體;ADEKA(高 k 前驅物 HfO₂ 系列、GAA 關鍵);韓系 SK Materials/Soulbrain/DNF/Hansol 在地供 Samsung/SK;Resonac/Kanto 蝕刻氣。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
|---|
| [EU] Merck (Versum) (MRK.DE) | 前驅物領導 | 半導體前驅物領導(併 Versum 後強化),供 GAA 高 k 介電/金屬閘極 ALD 前驅物與特用氣體給 TSMC/Samsung/Intel,先進節點薄膜化學核心供應 |
| [EU] Linde / Air Liquide (LIN / AI.PA) | 工業氣體雙雄 | 全球工業氣體雙雄,於晶圓廠現場設氣站供大宗(N2/H2/O2)與特用氣體/前驅物,長約綁定、供貨連續性直接影響產線稼動、擴產同步連動 |
| [JP] ADEKA (4401.T) | 高 k 前驅物領導 | 高 k 介電 HfO₂ 系 ALD 前驅物領導,是 GAA 閘極堆疊逐層沉積的關鍵化學品,供先進晶圓廠、材料純度決定漏電與可靠度 |
| [KR] SK Materials / Soulbrain / DNF / Hansol (— / 036830.KS / 092070.KS / 014680.KS) | 韓系在地 | 韓系特氣/前驅物在地群,SK Materials 供 NF3 清洗氣、Soulbrain/DNF/Hansol 供 HCDS 等 ALD 前驅物,供 Samsung/SK hynix、降日系依賴 |
| [TW] 台特化 / 中華化 / 勝一 (4772.TWO / 1727.TW / 1773.TW) | 台廠特氣/溶劑 | 台特化=台灣唯一矽烷產商 |
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CMP 耗材 / 濕製程化學 CMP Consumables · Wet Chem
CMP 研磨液(slurry)、研磨墊(pad)、修整鑽石碟與濕製程電子化學品。
slurry Top5 ~70%(Entegris ~23%、Fujimi ~18–20%);DuPont CMP pad(IC1000 近標準);台廠中砂(CMP 鑽石碟)、長春(電子級化學);韓系 Soulbrain 濕化學。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [US] Entegris (CMC) (ENTG) | slurry ~23% | CMP 研磨液(slurry)全球第一(~23%),並整合過濾/氣體輸送純化,供先進晶圓廠銅/鎢/介電研磨、材料純度直接影響刮傷缺陷與良率 |
| [US] DuPont / Fujimi (DD / 5384.T) | pad 領導/slurry ~18% | DuPont CMP 研磨墊(pad,IC1000 近業界標準)全球領導、Fujimi 研磨液 ~18%,pad+slurry 綁定供 TSMC/Samsung、平坦化耗材寡占 |
| [KR] Soulbrain / KCTech (036830.KS / 281820.KS) | 韓系 slurry | 韓系 CMP 研磨液與濕製程化學在地供 Samsung/SK hynix,降美日耗材依賴,Soulbrain 兼供前驅物/蝕刻液、韓廠垂直整合 |
| [TW] 中砂 Kinik / 長春 (1560.TW / —) | 鑽石碟/化學 | 台積電在地耗材供應,中砂 CMP 修整鑽石碟全球要角(3nm 擴產受惠)、長春供電子級雙氧水等濕化學,貼近 TSMC 就近供貨 |
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材料通路 / 廠務 / 設備代工 Channel · Facility · Subcon
半導體材料通路、無塵室廠務工程、設備代工與第三方檢測——隨台積電擴產連動、英文來源最易漏的一層。
崇越(信越光阻台灣獨家代理+環保工程)、帆宣(廠務系統+ASML 模組代工)、漢唐/亞翔(無塵室統包)、京鼎(TEL 設備代工)、閎康(第三方失效分析)。建廠連動度高。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [TW] 崇越 Topco (5434.TW) | 材料通路+廠務 | 信越光阻台灣獨家代理(掌 TSMC 光阻供貨通路)兼環保/無塵室工程雙引擎,隨台積擴產與材料用量同步連動、材料通路護城河高 |
| [TW] 帆宣 Marketech / 漢唐 (6196.TW / 2404.TW) | 廠務龍頭 | 半導體廠務工程龍頭群,帆宣供廠務系統並代工 ASML 模組、漢唐無塵室統包,台積/美光新廠擴產訂單能見度高、建廠連動度最直接 |
| [TW] 京鼎 Foxsemicon / 閎康 MA-tek (3413.TW / 3587.TW) | 設備代工/檢測 | 京鼎為 AMAT/TEL 設備模組指標代工廠(鴻海集團)、閎康第三方材料分析與失效分析龍頭,供設備商與晶圓廠研發/故障排除 |
| [TW] 翔名 / 瑞耘 (8091.TWO / 6532.TWO) | OEM 零組件 | 前段設備零組件 OEM 供應,翔名供黃光區備品/精密零件、瑞耘供設備零組件與濕製程,供全球前段設備廠與晶圓廠、隨稼動率連動耗用 |
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濺鍍靶材 / 石英件 Sputtering Target · Quartzware
GAA 金屬閘極/內連線 PVD 用高純濺鍍靶材,與爐管/反應腔高溫石英陶瓷件。
靶材 JX 金屬(~60%)、Honeywell、Tosoh 領導,台廠光洋、中國江豐切入;石英件 Ferrotec、Heraeus、信越石英。屬設備耗材鎖喉。
| 公司 | 市佔/地位 | 角色 |
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| [JP] JX Advanced Metals (5016.T) | 高純靶材龍頭 | 半導體高純濺鍍靶材全球龍頭,供 GAA 金屬閘極/內連線 PVD 用超高純 Cu/Ta/Co 靶,供 TSMC/Samsung/Intel,JX+Tosoh+Honeywell ~35%、前六 ~60% |
| [US] Honeywell / Tosoh / Materion (HON / 4042.T / MTRN) | 靶材主力 | 高純金屬濺鍍靶前六大主力,供先進節點 PVD 金屬化用靶材,與 JX 並列寡占、材料純度與微結構決定薄膜均勻度與良率 |
| [TW] 光洋應材 / 江豐 (1785.TWO / 300666.SZ) | 台/中靶材 | 台/中在地靶材,光洋應材供台積薄膜濺鍍靶並回收貴金屬、江豐為中國最大靶材(國產替代),是日美靶材外分散地緣供應風險選擇 |
| [JP] Ferrotec / Heraeus / 信越石英 (6890.T / — / —) | 石英件 | 爐管/反應腔高溫石英與陶瓷件供應,Heraeus/信越石英供高純石英件、Ferrotec 供陶瓷腔體,是熱製程/沉積機台的高溫耗材、隨稼動率連續耗用 |
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